在第五届电子行业超纯水制备与污水再生利用技术研讨会上，Fluidsmile乐富意得（上海）流体技术有限公司总经理，海诺威公司中国区销售经理王涛作了“中压紫外技术在超纯水工艺应用中的技术优势”的专题报告。

王涛总经理作报告

    王涛在报告中主要介绍了中压紫外线的技术特点和海诺威中压紫外线产品在半导体企业的应用案例。

    王涛首先介绍了紫外线在超纯水工艺中的应用场景，对于超纯水生产来说，紫外技术在预处理、精制以及抛光阶段都不可或缺，其关键在于保证对水中微量总有机碳（TOC）的去除。

    中压紫外线能够去除TOC的原理包括打断分子化学键，激发水分子产生羟基自由基进行氧化和将有机物离子化进而由后续工艺（离子交换树脂）去除三种方式。相比传统低压紫外线只能产生185 nm和254 nm波长的紫外线，王涛指出中压紫外线技术的技术特点在于具有更广的紫外波长范围，可以改善单一185 nm波长对水体中TOC有效去除范围小，去除效率低的问题。海诺威公司基于此提出中压+低压的组合技术方案，优化灯管数量组合方案并提升单只灯管的状况监测，该方案在有效超纯水产水水质的同时，实现了超纯水紫外工艺的投资成本、维护成本与运行成本的大幅降低。

    目前，海诺威公司的中压+低压组合紫外线技术方案被用于英特尔、格罗方德、中芯国际、比亚迪等多个企业的纯水制备生产线。